[文章导读] 如用等离子表面处理的等离子体中的活性氧与材料表面的有机物进行氧化反应，氧等离子体与材料表面有机污物作用，

等离子表面处理（点击了解详情）放电形成的等离子体中包括电子、正离子、亚稳态的分子和原子等，当等离子体与被清洗的物体表面相互接触时，一方面利用等离子表面处理或等离子激活的化学活性物质与材料表面污物进行化学反应，

如用等离子表面处理的等离子体中的活性氧与材料表面的有机物进行氧化反应，氧等离子体与材料表面有机污物作用，把有机污物分解为二氧化碳等。氢等离子与表面氧化物作用，把氧化物还原并生成水等。另一方面利用等离子表面处理的高能粒子对污物轰击等物理作用，如用活性氩等离子体清洗钢铁表面污物，轰击使其形成挥发性污物被真空泵排出。

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