FemtoTools是一家瑞士高科技公司，研发团队依托于瑞士联邦理工学院-机器人与智能系统研究所（ETH-IRIS）Bradley Nelson 教授课题组，为微纳米尺度的机械测试和机器人处理研发超高精度仪器，充分满足半导体技术、微系统开发、材料科学、微型医学和生物技术等领域的挑战性要求。
FT-NMT04是瑞士FemtoTools公司最新研发的一款原位纳米压痕仪。
FT-NMT04纳米力学性能测试系统是一种多功能原位SEM/FIB纳米压痕仪，能够精确量化微米和纳米级材料的力学行为。作为世界上第一个基于MEMS的纳米压痕仪，FT-NMT04基于获得专利的Femto Tools微电子机械系统（MEMS）技术。利用二十多年的技术创新，这种原位纳米压痕具有无与伦比的分辨率，可重复性和动态响应。
FT-NMT04原位纳米压痕仪针对金属，陶瓷，薄膜以及超材料和MEMS等微结构的机械测试进行了优化。此外，通过使用各种附件，FT-NMT04的功能可以扩展到各个研究领域的多样化要求。典型应用包括通过微柱的压缩测试或狗骨样本，薄膜或纳米线的拉伸测试来量化塑性变形机制。此外，弯曲期间的连续刚度测量使得能够在微梁的断裂测试期间量化裂缝生长和断裂韧性。由于无与伦比的低噪声基底分别为500pN和50pm，FT-NMT04可实现浅纳米压痕，具有前所未有的可重复性。
FT-NMT04纳米力学性能测试系统可以集成到大多数SEM / FIB系统中
FT-NMT04原位纳米压痕仪功能:
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纳米压痕，压缩测试，拉伸测试，断裂测试，疲劳测试 |
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使用SEM，EBSD或STEM进行定量机械测试和同步成像 |
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获得专利的基于MEMS的传感技术可实现0.5 nN至200 mN的最高分辨率和重复力，以及0.05 nm至21 mm的位移 |
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能够进行连续刚度测量（CSM）或高达500 Hz的疲劳测量，无需复杂的动态校准 |
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真正的位移控制测试，可实现快速应力下降的量化（也可以选择基于力反馈的力控制测量） |
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3轴,4轴或5轴（x,y,z,旋转,倾斜）,闭环传感器,使用所有轴上的位置编码器进行样品对齐 |
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高温测试可达400℃ |
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能够将样品有序地定向到纳米压头尖端，电子束和EBSD检测器，以评估特定颗粒和位置的硬度（仅适用于5轴配置） |
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简单确定压头区域功能和框架顺应性 |
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强大的数据分析工具，用于评估测量结果并应用拟合或函数来计算材料属性 |
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SEM样品台安装可以快速安装和移除SEM室内的系统 |
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紧凑的模块化设计使其几乎可以集成到任何SEM中 |
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可定制的测量程序和原则 |
FT-NMT04原位纳米压痕仪应用概述:
微柱压缩
确定滑移系统的临界分辨剪切应力（CRSS）
表征单轴应力下的变形机制
韧性损伤和应变局部化的量化
微悬臂断裂试验
用连续J积分法测定亚微米断裂韧性
表征单调和循环断裂行为
量化各个裂纹的萌生和传播
纳米压痕
以低容量确定硬度和杨氏模量
量化接触力学和动态响应
多轴应力下变形机制的表征
微拉伸试验
确定屈服应力，极限拉伸应力和断裂伸长率
在单调和循环加载下表征断裂模式
定量应变局部化效应和裂纹萌生和传播事件
用STEM / EBSD进行相关的机械测试
应变定位的定量研究
相变的定量研究
纹理演变的定量研究
位错动力学的定量研究
晶界迁移的定量研究
FT-NMT04系统构造和配置:
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主要特征 力感应范围：+/-200mN 强制本底噪声（10Hz）：500pN 位移范围：25μm 位移噪声层（10Hz）：50pm 连续刚度测量和高达500Hz的疲劳测试 3轴传感器与样品对齐 尺寸：120 x 44 x 72 mm
微柱压缩 •微悬臂断裂试验 疲劳测试 纳米压痕 微拉伸测试 |
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